乍一看光刻技(jì)术和蚀刻机很接近,可是光刻技术和蚀刻机却不混为一谈,由于刻蚀仅仅制造芯片其中之一的步骤而已。而刻蚀机只不过是众多芯片制造设备其中之一(yī)。下边(biān)在这里(lǐ)给大家聊一下蚀刻机。
蚀(shí)刻机和光刻(kè)技术其实也就是截然不同的二种机器设备,不论从作用或是在(zài)结构上而言都是天壤之别,光刻技术是芯片制造过程里(lǐ)为中心的机器设备,芯片制造是通过光刻技术所决定的,而非蚀刻机。
从原理来看光刻技术和蚀刻机。
如果将制造芯片比(bǐ)作建房子,那样光(guāng)刻技术的作用是把房子(zǐ)的结构(gòu)标明在地板上。蚀刻机便是在光刻技术进行之后才登场的机器设备,都是光刻技术进行之后尤为重要的机器设备之(zhī)一。蚀刻机(jī)主要的(de)的作用是(shì)依照光刻技术早已标明好的线去(qù)做基础建设,把没有用的地区给清理掉,只留光刻技术环(huán)节中(zhōng)标明好一点的路线(xiàn)。
从在结构上看(kàn)来光刻(kè)技术和蚀刻机。
光刻技术的重要的关键(jiàn)技术便是灯(dēng)源和激光光路,其灯源和激光光路的重要构成部分有四个,灯源、曝出、检验、和其它高精密机械制造构成。对比下,蚀刻机的构造构成就需要简单一些,通常是等离子频射源、反映室和真气体路等(děng)构(gòu)成。