(1)FeCl3浓度(dù)值对蚀刻速率的危害:FeCl3蚀刻液中随FeCl3浓度值的提高,蚀刻速率加速。当所含FeCl3超出某一浓(nóng)度值时,因为蚀刻机水溶液粘度(dù)提升,浸蚀速率反倒有一定的降低。五金蚀刻设备厂家针对选用抗蚀印料或抗蚀(shí)湿膜(mó)的铜零(líng)件,浓度值可调节在35°波美度上下;选用液态光致蚀剂(如骨胶,丙烯(xī)酸乳液等)的铜零件。浓度值操纵在42°波美度上下。一般状况下,蚀刻机医疗箱内药液浓(nóng)度值在350g/L-600g/L为宜。
(2)硫酸(suān)的(de)加上量对蚀刻(kè)机的浸蚀速率危害:在腐蚀(shí)机中添加硫酸,一则可(kě)以抑止(zhǐ)FeCl3和CuCl2的水(shuǐ)解反应(yīng);二则可提升蚀刻速率。尤(yóu)其是当蚀刻(kè)液中铜成(chéng)分大路37.4g/L后,盐酸的作用更为显(xiǎn)著。但这应依据不(bú)一样的抗蚀层原材料挑选适宜的酸度,假如抗蚀层挑选骨(gǔ)胶,果胶(jiāo),丙烯酸乳液等(děng)光(guāng)致(zhì)抗蚀层(céng),则(zé)不能用太高的酸度,不然,抗蚀层便于被毁坏。针对光感应环氧树脂抗蚀剂及油墨印刷抗蚀(shí)层(céng),则可以挑选较高的酸度。
(3)温度对(duì)蚀刻(kè)速率的危(wēi)害:在FeCl3蚀刻加工工艺中,随温度的上升,蚀刻机中产品工件的浸蚀速率显著加(jiā)速。例如在50℃时,全新升级蚀刻液(yè)对铜(tóng)的(de)蚀刻速率可做(zuò)到10μm/min。但在现实制(zhì)造中,全是选用常温下蚀刻方式。FeCl3对(duì)铜的蚀刻是一个化学反应,伴随着蚀刻(kè)的开展(zhǎn),蚀刻机中药材水(shuǐ)温度会慢慢上升(shēng),蚀刻速率加速。伴随着FeCl3的耗费,蚀刻速率也会降低。与此同时(shí)这一提温全过程也较为迟缓,因此在全部蚀刻全过程中蚀刻速率转变并不大。